振動傳感器

硅微加速度計是一種最有發展前景的微結構加速度計，在國內外應用廣泛。它的作用原理是基于經典的牛頓力學定律，當傳感器感受加速度時，檢測質量反向移動，于是形成電容的變化，該信號解調后反饋給加力電級，產生靜電反饋力用來平衡檢測質量的慣性力，利用此反饋力所對應的輸出電壓作為對加速度的測量。